化學(xué)蝕刻中常見的問題有：
1、 邊緣輪廓線不清楚，這種情況是因?yàn)榱慵砻嬲次郏缡钟 ⒒瘜W(xué)污染、氧化膜、防蝕層邊緣不清晰等，還有就是蝕刻液濃度不在工藝規(guī)定范圍內(nèi)，這種情況下首先需要加強(qiáng)各工序管理，防止二次污染，在蝕刻之前對防蝕層檢查要嚴(yán)格，其次分析調(diào)整蝕刻液各成分至工藝規(guī)定范圍。
2、 粗糙的蝕刻表面，被蝕刻表面有溝槽、留痕及點(diǎn)蝕，其主要原因是蝕刻液中AI3+濃度太高，NaOH濃度太高或太低，蝕刻后酸洗后，漂洗不凈，糾正的方法就是分析調(diào)整蝕刻液各成份濃度到工藝規(guī)定范圍，加強(qiáng)酸洗后的水洗質(zhì)量。
3、 形成凹坑主要是因?yàn)槲g刻液中AI3+濃度及NaOH濃度太高，處理的方法就是稀釋蝕刻液，降低濃度。
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